等离子键合可以用于微流控芯片制造。为了将PDMS芯片永久地粘合到载玻片上,研究人员使用等子清洗机来改变玻璃和PDMS的表面特性。等离子体处理将改变表面化学特性并允许PDMS与通道粘在其他基板( PDMS或玻璃)上。
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